洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。洁净室和空调送回风管道应在安装过滤器前达到清洁要求,净化空调系统必须连续空吹12小时以上,空吹后再对送回风管和空调机组内部进行清扫和擦洗干净。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 净化工程所---设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,净化车间施工,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工有认识,否则,施工很难得到保障。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质---的洁净室。净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。 否则会影响项目的。 也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。 净化工程所---设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。
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