净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。无尘车间净化原理:气流***初效空气处理***空气调节***中效空气处理***风机加压送风***净化送风管道***送风口***洁净室***带走尘埃 *** 回风夹道***新风、初效空气处理。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近。
净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级,常用的有和国内区域行业标准。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。在实际施工中,净化项目通常分为,分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,洁净工程车间,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。
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