









洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质,有效地控制微量杂质,以------产品的成品率。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工有认识,否则,施工很难得到保障。
净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工有认识,否则,施工很难得到保障。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。在实际施工中,净化项目通常分为,分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,无尘车间洁净工程,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。
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