









具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,净化工程安装,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。
设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级,常用的有和国内区域行业标准。布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互,净化工程的面积应在---基本要求前提下,与生产规模相适应。
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。无尘车间净化原理:气流***初效空气处理***空气调节***中效空气处理***风机加压送风***净化送风管道***送风口***洁净室***带走尘埃 *** 回风夹道***新风、初效空气处理。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近。
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